XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺(tái) 100μm為二維X軸及Z軸運(yùn)動(dòng)壓電平移臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)X軸及Z軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)無(wú)摩擦、無(wú)后坐力?？蛇x擇閉環(huán)版本定位精度高，是二維精密定位與掃描的理想選擇。

XP-611.XZ二維XZ向運(yùn)動(dòng)納米平移臺(tái)，產(chǎn)品體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，可通過(guò)與XP-611.Y(即XP-611.X)組合成三維平移臺(tái)，是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長(zhǎng)度校準(zhǔn)、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。XP-611.XZ為壓電驅(qū)動(dòng)、無(wú)摩擦、柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率和毫秒的響應(yīng)時(shí)間。

特性 XP-611.XZ二維XZ向壓電納米定位臺(tái) 100μm

• 二維XZ軸運(yùn)動(dòng)                   • 位移行程100μm                   • 小體積                   • 毫秒級(jí)響應(yīng)速度                   •  納米級(jí)定位精度

高穩(wěn)定性、高諧振頻率、體積小巧		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
XP-611系列壓電納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，XP-611.XZ的尺寸僅為 35×35×34.5mm，易于與其他設(shè)備集成安裝。 該系列定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大原理，位移可達(dá) 100μm，空載諧振頻率高、響應(yīng)速度快，100μm的階躍時(shí)間為0.8ms，該系列產(chǎn)品以其高可靠性，高性價(jià)比等特點(diǎn)深得工業(yè)型用戶的青睞。